近日，昊华科技发布公告称，公司全资子公司黎明院拟投资建设4600吨/年含氟特种电子气体项目。
据公告显示，该项目采用黎明院自主研发专利技术生产特种含氟气体总产能4600吨/年，包括3000吨/年三氟化氮、1000吨/年四氟化碳和600 吨/年六氟化钨。总投资额9.14亿元，建设期为项目批复后18个月，根据项目可行性报告分析，项目总投资收益率为14.53％；财务内部收益率：17.07%。项目投资回收期 6.66 年（含建设期1.5 年）。
昊华科技表示，电子气体在半导体领域具有广泛的应用，是半导体生产过程中的重要原料之一。近年来，随着下游半导体、电子器件等市场的快速发展，我国电子气体市场规模不断增大。经过近几年系列特种含氟电子气体的开发与推广，黎明院已成为国内知名的特种含氟电子气体的供应商之一，获得了广泛的市场认可。
为了进一步完善特种含氟电子气体产业链，满足国内市场需求，黎明院计划新建年产 4600 吨特种电子气体项目，以提高企业经济效益、抗风险能力以及增强可持续发展能力。
含氟特气是电子气体领域的高端产品，为氟化工重点发展方向。含氟电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的重要组成部分，主要用作清洗剂、蚀刻剂，也可用于掺杂剂、成膜材料等。在《中国氟化工行业“十三五”规划》中，含氟电子气体属于重点研发和培育类，是含氟化学品领域的高附加值产品。
广发证券认为，昊华科技积极扩建含氟气体，黎明院有望成为国内含氟特气龙头企业。黎明院现有三氟化氮特种气体产能2000吨/年，继续建成3000吨/年后，黎明院有望成为国内三氟化氮特种电子气体龙头企业；同时四氟化碳与六氟化钨产能也有望达到国内领先水平。